[发明专利]一种缺陷检测装置及缺陷检测方法有效
| 申请号： | 202010485254.2 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111610197B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 伊凯 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/956;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。其中，缺陷检测装置包括样品台、照明模块、缺陷检测模块和照明调整模块，样品台包括透明部，透明部用于承载待测样品，照明模块用于出射检测光束，并入射至待测样品，照明模块包括第一照明光源，第一照明光源用于向待测样品发射第一检测光束，照明调整模块设置于透明部背离待测样品的一侧，用于获取第一检测光束经待测样品后的透射光束的光强，并根据透射光束的光强确定照明模块的光强调整量，照明模块还用于根据光强调整量调节出射的检测光束的光强，缺陷检测模块用于获取待测样品的图像信息，并对图像信息进行缺陷检测。本发明提供的缺陷检测装置及缺陷检测方法，提高了缺陷检测的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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