[发明专利]一种半导体薄膜气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010485681.0 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111624236A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;渠波;尚瑞晨;赵丹娜;王梦圆;李志瑞;蔡伟成 | 申请（专利权）人： | 黄辉;渠波;尚瑞晨 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光;李托弟 |
| 地址： | 116024 辽宁省大连市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种半导体薄膜气体传感器及其制备方法。该半导体薄膜气体传感器包括衬底、以及设置于所述衬底第一表面的半导体薄膜；所述半导体薄膜表面设置有电极；所述半导体薄膜的上方设置有用于照射所述半导体薄膜的光源；或，所述半导体薄膜底部设置有用于照射所述半导体薄膜的光源；或，所述衬底的第二表面设置有用于照射所述半导体薄膜的光源，所述衬底第一表面和所述衬底第二表面相对设置。本发明通过设置光源照射半导体薄膜，可以提高灵敏度，从而避免了高温加热，功耗更低、更为稳定，其可以检测氧气和甲烷，而现有SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 半导体 薄膜 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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