[发明专利]加热器支架以及加热器装置在审
申请号: | 202010487706.0 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN112111784A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 宫崎真行;小暮公男;松本康裕;风间良秋;市原正浩 | 申请(专利权)人: | 安达满纳米奇精密宝石有限公司;株式会社桑尼克;佳能特机株式会社 |
主分类号: | C30B25/10 | 分类号: | C30B25/10 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;霍玉娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种加热器支架以及加热器装置,通过抑制或防止与加热器接触的部分的侵蚀,能够抑制或防止加热器的脱落、加热器的卷线间的短路。至少与加热器接触的部分由具有氧化铝的组成的晶体来制成加热器支架。由于能够对与加热器的接触部分赋予高耐热性以及高耐腐蚀性,因此具有氧化铝的组成的晶体优选为蓝宝石单晶。进一步地,由于能够进一步提高加热器支架的强度和耐久性以及可靠性,由此更优选由蓝宝石单晶制成加热器支架整体。进一步地,具备与由钽、钨、钼或它们的合金构成的加热器接触的所述加热器支架而构成加热器装置。 | ||
搜索关键词: | 加热器 支架 以及 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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