[发明专利]一种双入射角度式太赫兹时域光谱涂层测量方法

摘要

本发明公开了一种双入射角度式太赫兹时域光谱涂层测量方法，具体包括以下步骤：S1、在反射式太赫兹时域光谱系统中，分别测量太赫兹波以不同角度θ1和θ2入射时样品的太赫兹信号，并根据测得的样品信号获取由涂层两个界面反射回来的太赫兹脉冲的飞行时间差Δt1和Δt2，S2、计算被测涂层样品的涂层厚度与折射率，本发明涉及涂层测量技术领域。该双入射角度式太赫兹时域光谱涂层测量方法，可实现通过利用反射式太赫兹时域光谱系统，测量太赫兹波以两个不同角度入射被测涂层样本时的反射信号，获取两反射信号中相邻反射脉冲之间的飞行时间差，根据飞行时间原理计算出涂层厚度和折射率，本发明可以同时测量涂层的厚度和折射率。