[发明专利]一种铁电存储单元在审
申请号: | 202010489524.7 | 申请日: | 2020-06-02 |
公开(公告)号: | CN111627920A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 彭强祥;胡万清;廖敏;周益春;曾斌建 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | H01L27/11592 | 分类号: | H01L27/11592;H01L21/336 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 郑久兴 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种铁电存储单元,包括:铁电栅场效应晶体管和选通管(11),铁电栅场效应晶体管包括:衬底(1),衬底(1)的源区设置有漏电极(10)和源电极(9);在衬底(1)的绝缘区上依次垂直延伸有栅绝缘层(4)、浮栅电极层(5)、铁电层(6)、控制栅电极层(7);选通管(11)设置在浮栅电极(5)和源电极(9)之间;当控制栅电极层(7)进行擦写工作时,选通管(11)打开并接地,防止电荷从衬底(1)隧穿进入栅绝缘层(4)和铁电层(6),避免信号写入和擦除动作过程中绝缘层承载较大的电压降,从而减小铁电层存储信号改变过程中导致的电子隧穿失效影响,提高铁电栅场效应晶体管的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 存储 单元 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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