[发明专利]一种非对称带栅双向可控硅静电防护器件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202010489554.8 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN113764401A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 董鹏;魏伟鹏;汪洋;金湘亮;李幸 申请(专利权)人: 湖南静芯微电子技术有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/06;H01L21/332;H01L29/74;H01L29/747
代理公司: 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 代理人: 沈祖锋
地址: 410000 湖南省长沙市长沙经*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种非对称带栅双向可控硅静电防护器件及其制作方法,包括P型衬底;P型衬底中设有N型埋层;第二N型深阱上有第一N阱,第三N型深阱上有第二N阱;第一N阱和第二N型深阱不等宽,第二N阱和第三N型深阱不等宽;第一P阱上有第一P+注入;第二P阱上有第二P+注入、第一N+注入和第一栅极;第三P阱上有第二栅极、第三栅极和第三P+注入、第二N+注入;第四P阱上有第四栅极和第四P+注入;第一栅极在第二P阱右侧,第二栅极和第三栅极分别在第三P阱左侧和右侧,第四栅极在第四P阱左侧;第一P阱、第二P阱与第四P阱中六个电极均连接在一起作为器件的阴极,第三P阱中四个电极均连接在一起作为器件的阳极。
搜索关键词: 一种 对称 双向 可控硅 静电 防护 器件 及其 制作方法
【主权项】:
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