[发明专利]一种集成电路晶圆制造中的良率预测方法有效
| 申请号： | 202010491650.6 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN111667111B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 师伟堂;王文瑞;曾子明;曹玥 | 申请（专利权）人： | 上海哥瑞利软件股份有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/04 | 分类号： | G06Q10/04;H01L21/66;G06Q50/04;G06Q10/0637 |
| 代理公司： | 上海政济知识产权代理事务所(普通合伙) 31479 | 代理人： | 辇甲武 |
| 地址： | 200000 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种集成电路晶圆制造中的良率预测方法，包括以下步骤：备选参考产品模型获取；备选参考产品参数获取；备选参考产品函数获取；备选参考产品预测；最终参考产品选择；新产品预测模型获取；新产品良率预测。本发明提供的集成电路晶圆制造中的良率预测方法，基于晶圆制造中的随机缺陷密度与良率的函数关系，参考生产线上已有成熟产品的良率数据，通过数据模型建立及回归分析，能达到一个比较精确的新产品良率预测值，给半导体集成电路晶圆制造提供一种新产品良率预测的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 制造 中的 预测 方法 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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