[发明专利]一种复杂结构的抛光方法及装置有效
| 申请号： | 202010492332.1 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111716157B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 郭江;贺增旭;宋传平 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B31/00;B24B31/116;B24B31/12;B24B41/06;B24B57/02;B24B57/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种复杂结构的抛光方法及装置，基于剪切增稠与化学复合效应实现，属于精密/超精密加工领域。装置包括抛光系统、抛光液循环装置、水平振动装置和竖直振动装置。方法通过配制具有剪切增稠效应的抛光液，利用抛光液中的化学物质将工件表面快速氧化生成一层容易去除的化学反应层；通过工件振动与抛光液旋转耦合的方式保证抛光液能够发生剪切增稠现象，通过粒子簇的微切削作用去除化学反应层；新鲜表面再次与化学物质反应继而再次被去除。通过剪切增稠与化学复合效应可大幅度提高抛光效率，而且可以获得超光滑、少/无损伤的抛光表面。本发明可用于解决复杂结构的特殊位置难以抛光、抛光均匀性差、抛光效率低、抛光表面质量不高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复杂 结构 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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