[发明专利]一种镀铁镀铂的双镀层键合铜丝在审
| 申请号： | 202010492361.8 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111653541A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 俞健;齐燕;余致远;刘丕均 | 申请（专利权）人： | 南京微米电子产业研究院有限公司;南京均展半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49;H01L21/48;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 韩璐 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀铁镀铂的双镀层键合铜丝，涉及键合丝技术领域。一种镀铁镀铂的双镀层键合铜丝，所述镀铁镀铂的双镀层键合铜丝包括铜芯材；镀覆在铜芯材表面的铁镀层；镀覆在铁镀层表面的铂镀层。所述铜芯材经过熔炼进行粗拉伸后在表面镀覆铁镀层；再中拉伸后在铁镀层表面镀覆铂镀层；再超细拉伸为镀铁镀铂的双镀层键合铜丝。采用逐层拉伸，逐层镀层，具有较好的最终塑性变形能力，铁铂双镀层在压力加工过程中变形一致，表面均匀，致密完整，尤其是有利于焊接键合时充分变形，提高拉断力及可靠性。而且，双镀层结合处具有铁磁性的铁铂合金层能够起到屏蔽作用，减小键合线中的噪音。同时镀铁铂合金层对单晶铜键合线形成了保护，避免被氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀铁镀铂 镀层 铜丝 | ||
【主权项】：
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