[发明专利]一种铝钪合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010492396.1 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111647858B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 童培云;蔡新志;朱刘;赵佳;白向钰;谢小林;郑双明 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;C22C1/02;C22C1/04;B22F9/08;B22F3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝原料和钪原料通过冷坩埚悬浮熔炼，得到铝钪合金熔体；将铝钪合金熔体浇铸到模具上冷却成型，得到铝钪合金铸锭；将铝钪合金铸锭置于真空坩埚炉内，升温使铸锭熔融成为铝钪合金液；将铝钪合金液进行雾化后得到铝钪合金粉末；将铝钪合金粉末进行烧结后得到铝钪合金靶坯；将铝钪合金靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。本发明提供的一种铝钪合金靶材的制备方法，根据铝和钪的金属熔点相差悬殊特点，将铝原料分批次加入钪原料中进行熔炼，可以使合金靶材熔炼至完全合金化，而且采用熔化雾化的方式，制备出产品纯度高的铝钪合金粉，解决了现有技术制备铝钪合金靶材会造成合金分相的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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