[发明专利]气体溶解液供给装置及气体溶解液供给方法在审
| 申请号： | 202010493049.0 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN112023736A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 小泽卓;荒木裕二;渡边敏史;中川洋一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种气体溶解液供给装置及气体溶解液供给方法，其中，气体溶解液供给装置在气体溶解部使从气体供给部供给的气体溶解于从液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，将在气体溶解部生成的气体溶解液储存于气体溶解液箱，从气体溶解液箱向使用点供给气体溶解液，对向使用点供给的气体溶解液中的返回气体溶解部的气体溶解液的流量进行测定，根据测定的结果，对从液体供给部向气体溶解部供给的液体的流量进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 溶解 供给 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010493049.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
