[发明专利]一种钼铌合金靶材及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010493086.1 申请日: 2020-06-03
公开(公告)号: CN111590071B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 候庆龙;吴荣祯;张科;蔡小勇;安子顺;张梦兰 申请(专利权)人: 福建阿石创新材料股份有限公司
主分类号: B22F3/10 分类号: B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24;C22C27/04;C22C1/04
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 赵晓琳
地址: 350200 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及粉末冶金制备技术领域,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉混合后压制,得到生坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm;将所述生坯进行真空烧结处理,得到钼铌烧结体;将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理,得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材,实施例结果表明,本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3~5倍没有裂纹出现,能够从500mm延伸至2800mm,致密度可达99%。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理,大幅度的降低了生产成本。
搜索关键词: 一种 合金 及其 制备 方法
【主权项】:
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