[发明专利]一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉在审
| 申请号： | 202010493262.1 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111593216A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡小勇;张科;曹建亮;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C21/00;C23C14/34;C23C14/06;F27B3/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 马小星 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合后进行压制和组焊，将所得组焊电极在水冷铜结晶器中进行两次真空电弧熔炼；然后进行重复热机械加工，机加工和绑定，得到铝钪合金靶材，所述水冷铜结晶器带有水套和稳弧线圈。本发明在水冷铜结晶器中两次真空电弧熔炼，避免了采用传统熔炼炉中的耐火材料对钪的污染，洁净度高，含氧量低；由于水冷铜结晶器的快速冷却及后续热机械加工，改善了铝钪合金靶材的组织并修复缺陷，所得铝钪合金靶材的微观组织均匀，平均晶粒均匀，无气孔和偏析明显缺陷，致密度和铝钪合金靶材成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 真空 电弧炉 | ||
【主权项】：
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