[发明专利]光学式角度传感器有效
申请号: | 202010494433.2 | 申请日: | 2020-06-03 |
公开(公告)号: | CN112033306B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 木村彰秀 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G02B27/28 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种光学式角度传感器,即使光源波长因环境的变化而发生了变化,也能够使向受光单元照射的合成光的重叠量稳定,并且高精度地检测因测定对象的转动而产生的角度的变化量。光学式角度传感器具备衍射单元、光源、受光单元、多个反射单元以及运算单元。衍射单元具备生成合成光的第一衍射部以及使第一光及第二光多次衍射的第二衍射部。多个反射单元具备第一反射单元、第二反射单元、使经由了第二衍射部(22)的第一光及第二光朝向第二衍射部反射的第三反射单元、第四反射单元以及第五反射单元。运算单元伴随着衍射单元的转动,基于在受光面产生的由合成光形成的干涉信号的变化,来运算角度的变化量。 | ||
搜索关键词: | 光学 角度 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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