[发明专利]一种用于制备超薄钛箔的化学铣切液及铣切方法有效
| 申请号： | 202010494890.1 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111593349B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 葛荘;贺贤汉;欧阳鹏;王斌;马敬伟;张恩荣 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F1/04 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 224200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备超薄钛箔的化学铣切液及铣切方法，该铣切液由下述组分组成：体积分数分别为15％～25％的氢氟酸溶液、1％～3％的硝酸溶液、5％～8％的的冰醋酸溶液，浓度为0.1～0.5g/100mL铣切液的缓蚀稳定剂，余量为纯水。铣切方法包括如下工序：1)钛箔表面除油清洗：待处理钛箔依次在丙酮、无水乙醇、纯水中超声浸洗共计5min‑10min后烘干取出；2)化学铣切：将经步骤1)处理后的钛箔浸没在所述化学铣切液中1min‑4min中进行铣切；3)表面清洗：铣切后的钛箔依次在丙酮、纯水中浸洗共计6min‑10min。本发明由于在铣切液中添加使用了缓蚀稳定剂，加入该种稳定剂的化学铣切液铣切均匀、可明显缓解钛箔表面起皱现象、铣切液稳定性高，更适用于加工超薄钛箔焊片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 超薄 化学 铣切液 方法 | ||
【主权项】：
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