[发明专利]一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202010497464.3 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111500992A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡小勇;张科;曹建亮;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C21/00;C22C28/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 马小星 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用，涉及铝钪合金制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；在惰性气体保护下将所述熔融合金液冷凝，得到铝钪合金铸锭；将所述铝钪合金铸锭依次进行电磁搅拌和重复热机械处理，得到铝钪合金靶坯。本发明在真空、惰性气氛下进行电弧熔炼，减小了铝钪合金中的氧含量，重复电弧熔炼、电磁搅拌和重复热机械加工，改善了铝钪合金铸态的组织并修复其缺陷，利用的水冷铜坩埚冷却速度快，减小了铝钪合金中钪的偏析，靶坯晶粒均匀，无偏析，微观组织均匀，致密度高、成膜性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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