[发明专利]一种纳米级波带片成像分辨率测试的方法及装置在审
| 申请号： | 202010499019.0 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111721784A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王山峰;袁清习;张凯;黄万霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米级波带片成像分辨率测试的方法及装置。本装置包括X射线光源、聚焦镜、标准分辨率板和成像探测器；其中，根据待测波带片的设计分辨率，选择匹配的成像探测器放置在该待测波带片的像平面上；根据该待测波带片的设计分辨率，选择匹配的标准分辨率板并将其放置在该待测波带片的物平面上；所述X射线光源用于经所述聚焦镜照明该标准分辨率板，透过该标准分辨率板的光线经该待测波带片成像于所述成像探测器。本装置可以最直观的检测成像波带片的分辨率和分析其衍射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 波带片 成像 分辨率 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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