[发明专利]极紫外线光刻设备的液滴捕集器系统在审
| 申请号： | 202010499049.1 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN112305868A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 涂时雨;郑博中;张晓伦;陈立锐;张汉龙 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的各种实施例涉及一种极紫外线光刻设备的液滴捕集器(droplet catcher)系统。液滴捕集器系统包含捕集器主体、热传递部件、热交换器以及控制器。捕集器主体具有外表面。热传递部件直接地附接到捕集器主体的外表面。热交换器热联接到热传递部件。控制器电联接到热交换器。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 光刻 设备 液滴捕集器 系统 | ||
【主权项】：
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