[发明专利]一种旋转运动式EBSD测试试样自动电解抛光装置和方法在审
| 申请号： | 202010499356.X | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111551573A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 刘觐;范众维;孟利 | 申请（专利权）人： | 江西省科学院应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/203;G01N1/32;C25F3/16;C25F7/00 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知识产权代理事务所 36122 | 代理人： | 姚伯川 |
| 地址： | 330012 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种旋转运动式EBSD测试试样自动电解抛光方法和装置，所述装置包括可升降悬臂带定位锥支座（2）、半球内底面电解抛光槽（6）、人字形夹具（7）、调位卡盘（5）和电机（1）。所述方法包括试样打磨、试样（10）安装、试样与阳极连接、电解抛光槽与阴极连接、配置电解抛光液（9）、电解抛光和试样后处理。本发明采用半球内底面电解抛光槽，作为电解抛光的阴极，使电压和电流密度等高线成同心圆形均匀分布在电解抛光液中，大大改善了待抛光表面电压和电流的稳定性，从而使电解抛光表面质量得到大幅度提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 运动 ebsd 测试 试样 自动 电解 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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