[发明专利]一种超高分辨率抗刻蚀含金属嵌段共聚物及其制备与应用在审
| 申请号： | 202010499705.8 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111704704A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 邓海;吴光亚 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C08F293/00 | 分类号： | C08F293/00;C08F230/04;C08F220/24;C08F2/38;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 吴文滨 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高分辨率抗刻蚀含金属嵌段共聚物及其制备与应用，嵌段共聚物包含第一嵌段及第二嵌段，第一嵌段以烷基链(C≥1)作为间隔基且有机金属基团作为含金属单元的甲基丙烯酸酯或者丙烯酸酯类侧链金属化合物作为单体，第二嵌段以含氟甲基丙烯酸酯或者丙烯酸酯类化合物作为单体。与现有技术相比，本发明嵌段共聚物中第一嵌段与第二嵌段具有较大的化学组分差异性，使得本发明嵌段共聚物具有刻蚀对比度好、图案转移方便且组装速度快、缺陷率低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨率 刻蚀 金属 共聚物 及其 制备 应用 | ||
【主权项】：
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