[发明专利]一种自组装Ba(Hf,Ti)O3有效

专利信息
申请号: 202010501023.6 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN111676456B 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 刘明;段婷枝 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58;C30B29/32;C30B23/02
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开一种自组装Ba(Hf,Ti)O3:HfO2纳米复合无铅外延单层薄膜及其制备方法,包括Nb:SrTiO3基片、BaHfxTi1‑xO3层和上电极,其中BaHfxTi1‑xO3层设置于Nb:SrTiO3基片的上表面,上电极设置于BaHfxTi1‑xO3层上表面,其中,x≥0.44,BaHfxTi1‑xO3层厚度为400nm。制备包括如下过程:在Nb:SrTiO3基片上表面制备BaHfxTi1‑xO3层,在BaHfxTi1‑xO3层上表面制备上电极。本发明的薄膜在提升击穿场强和储能密度的同时,使其能量效率维持在较高状态,并且有了一种新结构。
搜索关键词: 一种 组装 ba hf ti base sub
【主权项】:
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