[发明专利]基于人工智能的晶体生长分析方法及系统在审
| 申请号： | 202010502352.2 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN113130017A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 程章勇;张云伟;陈颖超;杨丽雯;何丽娟;李百泉;靳丽婕;李天运;韦玉平;王丽君 | 申请（专利权）人： | 北京世纪金光半导体有限公司 |
| 主分类号： | G16C20/70 | 分类号： | G16C20/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于人工智能的晶体生长分析方法及系统。具体涉及到晶体生长领域，尤其是碳化硅晶体生长领域。该发明主要分为试验、仿真、人工智能三部分。试验是数据最可靠的来源，也是验证人工智能分析、仿真分析的有效方法；仿真是对试验数据的补充，也是分析晶体生长的重要辅助方法；人工智能主要用于提取参数中的特征数据并分析、评估，界定晶体生长范围的方法。这样有利于构建一个分析、评价、评估、验证晶体生长状况，也可以界定晶体生长边界条件。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 人工智能 晶体生长 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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