[发明专利]具有横向绝缘栅极双极性晶体管的功率元件及其制造方法

摘要

一种具有横向绝缘栅极双极性晶体管的功率元件及其制造方法。该功率元件形成于一半导体基板上，包含：多个横向绝缘栅极双极性晶体管彼此并联；以及顺向导通单元，与多个横向绝缘栅极双极性晶体管并联，顺向导通单元由PN二极管与肖特基二极管并联形成；其中PN二极管与肖特基二极管共享外延层中的N型区、反向端、N型延伸区、场氧化区、栅极以及P型区；其中N型区与P型区形成PN结，由俯视图视之，PN结具有交错的梳齿交界面；其中金属导线于交错的梳齿交界面正上方延伸，交错接触下方的N型区与P型区。