[发明专利]一种提升发光效率的LED多量子阱层生长方法有效
申请号: | 202010504386.5 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111952418B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 徐平;龚彬彬;周孝维;胡耀武 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/32 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 张勇;唐玲 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: |
本申请公开了一种提升发光效率的LED多量子阱层生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温GaN缓冲层、生长非掺杂GaN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长多量子阱层、生长AlGaN电子阻挡层、生长掺杂Mg的P型GaN层,降温冷却,其中生长多量子阱层依次包括生长Si |
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搜索关键词: | 一种 提升 发光 效率 led 多量 子阱层 生长 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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