[发明专利]一种等离子体测量装置在审
| 申请号： | 202010504516.5 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111654966A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 贾军伟;柴昊;张书锋;邓星亮;刘展;郎昊 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 张振伟 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种等离子体测量装置，该等离子体测量装置包括：移动台，用于在第一方向或第二方向上移动，第一方向与第二方向不同；支撑架，位于移动台上，能够跟随移动台的移动而移动；至少两个探针，位于支撑架上，用于通过支撑架的移动，与等离子体的至少两个点接触并同时测量至少两个点的等离子体特征参数。通过本公开实施例，能够提高测量效率及精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 测量 装置 | ||
【主权项】：
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