[发明专利]一种淡化ITO蚀刻纹的方法在审

专利信息
申请号: 202010504618.7 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN111506223A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 郑琦林;刘月豹;晏竹冰;张阳;廖晓芮;叶飞 申请(专利权)人: 安徽方兴光电新材料科技有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 233010 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种淡化ITO蚀刻纹的方法,该方法包括以下步骤:绘制ITO通道图案,ITO通道图案的线距设定为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n;在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n;绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|。本发明提供了淡化ITO蚀刻纹的方法,摈弃了传统的等距间隙设置方式,充分考虑到难以避免的工艺公差,合理设置悬浮块的间距,使得悬浮块之间产生位置、大小和形状随机分布的导通,将整条规则的条状蚀刻纹分割成不规则的各个片段,进而起到淡化蚀刻纹的作用,成本低,操作简单,非常值得推广。
搜索关键词: 一种 淡化 ito 蚀刻 方法
【主权项】:
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