[发明专利]一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统有效
| 申请号： | 202010504638.4 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111556641B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李和平;李静;陈坚;方川 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/28 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 楼艮基 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种低温范围的裸露电极型大气压等离子体发生器系统属于大气压射频等离子体技术领域，其特征在于包括电源、气源、发生器、等离子体气体温度调节器，输出等离子体调节接头以及处理器，其中，发生器具有同轴型电极，内电极纵剖面呈“U”字形，冷却气体进入凹槽后通过沿径向开在内电极内的多层冷却通道后进入等离子体空间，以补充等离子体输出流量，所述调节接头用于调节输出等离子体纵向高度及输出角度，处理器把输出等离子体分为[‑200℃,0℃]，(0℃,50℃]两档分档处理，对输出等离子体气体温度和流量两个参量按优先级控制，据此确定非最优参量的修正期望值。本发明具有发生器结构简单、输出等离子体可调节及调节对象针对性、选择性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 范围 裸露 电极 大气压 等离子体 发生器 系统 | ||
【主权项】：
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