[发明专利]基于超导桥结的串联超导量子干涉器阵列制备方法及结构在审

专利信息
申请号: 202010505137.8 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN111864048A 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 钟青;王雪深;李劲劲;钟源;徐骁龙;曹文会 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: H01L39/24 分类号: H01L39/24;B82Y40/00;H01L39/02;H01L39/22
代理公司: 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 代理人: 樊春燕
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供一种基于超导桥结的串联超导量子干涉器阵列制备方法及结构。基于超导桥结的串联超导量子干涉器阵列结构具有纳米桥结构,形成了多个串联的SQUID阵列。从而,具有结电流密度高、寄生电容小的特点。通过具有纳米结的串联超导量子干涉器阵列结构可以缩小到纳米级,具有更高的抗外界磁场干扰的能力。通过串联的SQUID阵列,使得基于超导桥结的串联超导量子干涉器阵列结构的整个系统具有更大的带宽,避免阻抗匹配问题,工作频率范围大大增加。从而,使得制备获得的基于超导桥结的串联超导量子干涉器阵列结构具有更强的抗干扰能力、更高的带宽和更好的输出信噪比。
搜索关键词: 基于 超导 串联 量子 干涉 阵列 制备 方法 结构
【主权项】:
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