[发明专利]具有阶梯形结构的JBS两级管器件结构及其制造方法在审
申请号: | 202010505931.2 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111653609A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 陈彦豪 | 申请(专利权)人: | 苏州凤凰芯电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/872;H01L21/329 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 215612 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有阶梯形结构的JBS两级管器件结构及其制造方法,在第一导电类型重掺杂衬底上设第一导电类型外延层,在第一导电类型外延层上表面内设呈阶梯形结构的第二导电类型体区,第二导电类型体区的宽度从下往上呈逐层增大设置,在第一导电类型外延层与第二导电类型体区的上表面设有氧化层与肖特基金属层,在肖特基金属层和氧化层的左端结合界面下方以及右端结合界面下方均设有一个第二导电类型体区,在肖特基金属层和氧化层的左右两端结合界面之间还至少设有一个第二导电类型体区,在衬底的下表面设有欧姆金属层。本发明可以达到提高器件耐压能力、降低反偏电压时的漏电电流、增强抗浪涌能力,进一步优化器件的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 具有 阶梯 结构 jbs 两级 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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