[发明专利]一种多波束毫米波相控阵芯片及制造方法

摘要

本发明公开了一种多波束毫米波相控阵芯片及制造方法。芯片包括N个天线连接端、N个可逆的的第一耦合器、多个移相衰减器、M个可逆的的第二耦合器、M个信号连接端；个频率的K个极化方向波束传输至M个信号连接端，信号连接端与第二耦合器的第一端一一对应连接；N个第一耦合器分为K组，每组传输一种极化方向波束；同种极化方向波束传输通道上的第一耦合器的第二端与第二耦合器的第二端之间分别连接一个移相衰减器；当为发射芯片时，还包括N个功率放大器；当为接收芯片时，还包括N个低噪声放大器。同一极化方向的不同载波频率波束共用与阵元对应的同一功率放大器或低噪声放大器，减少功率放大器或低噪声放大器数量，提高了相控阵芯片集成度。