[发明专利]一种用于数字光刻系统中旋转转台转心的测量和校正方法有效
| 申请号： | 202010511038.0 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111580352B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈岐岱;刘华;孙洪波 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于数字光刻系统中旋转转台转心的测量和校正方法，属于光学技术领域，具体步骤包括，步骤一：配置基于旋转转台的DMD数字光刻系统；步骤二：基于分区域连续旋转的静态刻写：步骤三：基于光刻基片图像数据计算转心的方法：步骤四：转心的校正。本发明中的DMD光刻系统配置了旋转转台，可通过加载一幅掩模图，旋转转台实现旋转对称图形的刻写，若将转台旋转和加载图形配合，有望实现更复杂图形的加工。为了实现旋转转台的理想应用，本发明对旋转转台的转心进行了测量和校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 数字 光刻 系统 旋转 转台 测量 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010511038.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
