[发明专利]一种可变角度变径磁过滤阴极电弧薄膜沉积设备和方法有效
| 申请号： | 202010514554.9 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111748777B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 卫红;胡琅;徐平;侯立涛;冯杰;胡强;侯少毅 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可变角度变径磁过滤阴极电弧薄膜沉积设备和方法，包括阴极电弧生成系统、等离子传输系统、真空镀膜腔体以及电源；阴极电弧生成系统包括电弧生成器和靶材；等离子传输系统包括变径磁过滤管道、电磁线圈以及扫描电磁线圈，电磁线圈绕设在所述变径磁过滤管道的外部，变径磁过滤管道为两头大中间小的双喇叭型。本发明通过设置在阴极电弧沉积设备中设计两头大中间小的双喇叭型的变径磁过滤管道，配合绕设在变径磁过滤管道上的电磁线圈，聚焦和偏斜电磁场可以向着基板导向等离子流，而不受电磁场影响的中性宏观粒子则继续从阴极沿着直线行进从而被过滤，通过简洁的磁过滤管道的设计，可以得到致密的均匀的阴极电弧薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 角度 变径磁 过滤 阴极 电弧 薄膜 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
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