[发明专利]一种高能离子注入机用冷阴极潘宁离子源装置有效
| 申请号： | 202010515930.6 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111681937B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈根;宋云涛;赵燕平;毛玉周 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州科沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 张帅 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高能离子注入机用冷阴极潘宁离子源装置，包括：离子源，引出电极，永磁体，腔体，其中离子源包括：防护罩、阳极罩、阳极座、阴极、对阴极、阴极座、绝缘陶瓷和套管；永磁体提供轴向磁场，引出电极通高压提供电场，电子在离子源阴极—阳极—对阴极之间的电场作用下在轴向来回振荡，并在磁场作用下作螺旋运动；阴极和对阴极侧面设计有高压接口，通相同的电压；阳极罩接地，内部设计有进气管道和引出口。本发明通过在阳极座内设计水冷管道且具有可清洗功能，可间接降低离子源阳极罩的温度，通过束流动力学仿真优化阳极罩引出口的结构，极大地提高了离子的引出效率，降低打火风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能 离子 注入 机用冷 阴极 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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