[发明专利]一种新的碱抛下实现LDSE的方法

摘要

本发明涉及太阳能电池生产领域。一种新的碱抛下实现LDSE的方法，顺序按照双面碱抛光、背面氧化、清洗制绒、扩散制结、激光掺杂、去PSG、正面氧化、正面氮化硅膜制备、背面钝化及减反膜层的制备、背面激光开膜、丝网印刷及高温烧结的工艺步骤进行，其中，在背面氧化工艺步骤中在硅片背面制备厚3‑5nm的氧化层作为掩膜层，在清洗制绒工艺步骤中使用的添加剂吸附在背面氧化层中保护背面不被制绒，使后续步骤中仅仅正面进行扩散制结和激光掺杂，在去PSG工艺步骤中再清除掉背面氧化层，保证在后续工艺中采用现有的工艺顺利完成硅片加工。