[发明专利]砂浆供应方法、砂浆供应设备及晶棒切割系统有效
| 申请号： | 202010519065.2 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111805775B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;卢健平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 欧阳高凤 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种砂浆供应方法、砂浆供应设备及晶棒切割系统，砂浆供应设备包括第一混合装置、第二混合装置和成品砂浆混合供应装置，成品砂浆混合供应装置用于向晶棒切割设备供应成品砂浆，砂浆供应方法包括：依切割效能需求设置所述设定比例；控制第一混合装置向成品砂浆混合供应装置供应第一体积的全新砂浆，且控制第二混合装置向成品砂浆混合供应装置供应第二体积的回收混合砂浆，第一体积和第二体积的比为设定比例。根据本发明实施例的砂浆供应方法，可以依切割效能需求设置调整全新砂浆和回收混合砂浆的混合比例，可以提高晶棒切割的稳定性，从而可以使得切割得到的晶片的翘曲度较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 砂浆 供应 方法 设备 切割 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司，未经徐州鑫晶半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010519065.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
