[发明专利]高硬度AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合涂层及其制备有效
| 申请号： | 202010523523.X | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111647849B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 刘艳梅;林伟;王铁钢;刘迁;朱强;彭勇 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32 |
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| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合涂层及其制备，属于复合涂层制备技术领域。所述多层复合涂层是由AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层依次循环叠加而成，涂层调制周期为50‑800nm，周期数≥4。该多层复合涂层均为面心立方结构，没有硬度低的六方相生成。本发明制备出的涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强(与基材结合力大于95N)，具有较高的硬度(大于30GPa)和强度，良好的耐磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 alcrsin alcrn alcron 多层 复合 涂层 及其 制备 | ||
【主权项】：
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