[发明专利]MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法在审
| 申请号： | 202010523998.9 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111638442A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 刘志广;孙锐锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭涛;刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及探针卡技术领域，特别涉及MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法，多层陶瓷板的底面设置有MEMS探针，MEMS探针电连接于测试电路板，测试电路板电连接于测试机，MEMS探针接触存储芯片的管脚PAD位，MEMS探针包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，第二悬臂梁和第一悬臂梁之间形成镂空层。与现有技术相比，本发明的MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法通过第一悬臂梁和第二悬臂梁的双层承重结构可以更好满足测试过程中的机械强度，并且镂空层利于提高韧性，可以有效延长MEMS探针的使用寿命，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | mems 工艺 制备 悬臂梁 探针 方法 | ||
【主权项】：
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