[发明专利]一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010524020.4 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111641397A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 薛光明;于海峰;金贻荣 | 申请（专利权）人： | 北京量子信息科学研究院 |
| 主分类号： | H03F7/04 | 分类号： | H03F7/04 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 陈变花 |
| 地址： | 100193 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种约瑟夫森行波放大器及其制备方法。所述约瑟夫森行波放大器包括两层金属层和中间介质层；第一金属层为铝薄膜，使用紫外光刻制备电容的下面板、电感和地平面；第二金属层使用双角度蒸发制备约瑟夫森结和电容的上面板；中间介质层使用单原子层沉积生长的氧化铝薄膜，完全覆盖第一金属层；多个约瑟夫森结构成传输线，传输线两端分别构成约瑟夫森行波放大器输入端口和输出端口；每个约瑟夫森结之间用平板电容与地连接，并在传输线弯折处采用共面波导线连接。采用本申请提供的约瑟夫森行波放大器能够减少材料损耗，简化制备工艺，提高器件制备的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 约瑟夫 行波 放大器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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