[发明专利]一种图案化柔性导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010526100.3 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111710473A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 罗钰;宁田泽;张皓;冯学明;裴跃琛;王莉;卢秉恒 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;H01B1/24;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 710049 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于柔性电子器件领域，公开了一种图案化柔性导电薄膜的制备方法，包括：(1)在柔性衬底上依次制备纳米线导电薄膜层及水溶性聚合物薄膜层；(2)通过电流体动力学近场直写工艺使用高分子聚合物溶液在水溶性聚合物薄膜层表面直写微纳尺度图案，刻蚀出图案结构；(3)以上述图案化聚合物薄膜为掩膜层对纳米线导电薄膜层进行化学处理，并去除未被掩蔽的纳米线导电薄膜；(4)利用去离子水去除残留的水溶性聚合物薄膜，干燥，得到柔性透明导电薄膜。本发明基于电流体近场直写工艺和模板法结合，采用直写工艺得到的聚合物纤维作为制备纳米线薄膜的模板或者模板刻蚀剂，从而实现图案化柔性导电薄膜的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 柔性 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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