[发明专利]保险丝结构、存储单元及保险丝结构的制作方法在审
| 申请号： | 202010526655.8 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111613604A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 韩广涛 | 申请（专利权）人： | 杰华特微电子(杭州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L27/112;H01L21/768 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 唐灵;赵杰香 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市西湖区三墩镇*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种保险丝结构、存储单元及保险丝结构的制作方法，保险丝结构包括：一氧化层；在氧化层中依次层叠设置的一多晶硅层、多个第一接触孔、一第一金属层、一第一通孔、一第二金属层，其中，第一通孔配置为保险丝通孔，设置在第一金属层与第二金属层间；一凹槽，配置在氧化层中，并围绕第一金属层、第一通孔、第二金属层而设置，凹槽包括一第一内壁、一第二内壁及位于第一内壁、第二内壁间的底壁，其中，第二内壁靠近第一金属层，凹槽的底壁低于第一金属层的底部。本发明由于在保险丝结构的氧化层中设有凹槽，可以提高保险丝结构的可靠性，进而提高存储单元的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 保险丝 结构 存储 单元 制作方法 | ||
【主权项】：
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