[发明专利]一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法

摘要

一种环状工件内壁沉积金刚石涂层的方法，包括下述步骤：阴极、阳极分体；环状工件安装到支撑环上，环状工件套装在阳极外围且与阳极同心放置；上升沉积台，使阳极上端面离辅助电极下端面10‑20mm；在阴极和辅助电极之间通入工作气体，磁场线圈通入电流，在阳极和阴极之间引燃电弧，阳极斑点在阳极边沿高速旋转，形成伞状弧帽；下降沉积台，将伞状弧帽调整于环状工件的中心；在引弧电极和辅助电极之间通入含碳气体，等离子体射流沿径向吹向环状工件内壁，在环状工件内壁沉积金刚石涂层。本发明阴极、阳极分离，工件置于阴极阳极之间，阳极的结构使高温气流以径向吹向环状工件内壁，气流与工件内壁垂直，能量集中，热效率高，金刚石涂层生长速度快，质量好。