[发明专利]一种可调谐热光滤波器、其调节方法及制作方法有效
| 申请号： | 202010528229.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111580288B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 周健 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 王迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可调谐热光滤波器、其调节方法及制作方法，其中，可调谐热光滤波器，包括：基底，依次背离所述基底设置的第一反射镜，超表面结构以及第二反射镜；其中，所述超表面结构包括周期性排布的多个微结构，环绕所述多个微结构的加热结构，以及覆盖所述多个微结构和所述加热结构的热光效应结构，其中，所述加热结构用于对所述热光效应结构进行加热，在所述热光效应结构处于第一温度值时，所述可调谐热光滤波器的中心波长为第一数值，在所述热光效应结构处于与所述第一温度值不同的第二温度值时，所述可调谐热光滤波器的中心波长为与所述第一数值不同的第二数值。用于实现高性能可调谐滤波。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 滤波器 调节 方法 制作方法 | ||
【主权项】：
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