[发明专利]硅料装料方法在审
| 申请号： | 202010528707.5 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113802181A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王全志 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 卢春燕 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅料装料方法，所述硅料装料方法包括以下步骤：在坩埚内设置沿上下方向延伸的至少一个安装件；在装有所述安装件后的所述坩埚内装入硅料；抽出所述安装件，使所述安装件的安装区域限定出第一气流通道。根据本发明的硅料装料方法，第一气流通道和硅料的缝隙之间可以形成气流通道，使气体可以顺利排出，可以避免杂质例如氧碳杂质在硅料中的死角处停留，从而可以避免氧碳杂质在硅料中沉积，保证硅料具有较高的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 装料 方法 | ||
【主权项】：
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