[发明专利]砷化镓抛光液自动循环过滤方法及其对应的过滤装置在审
| 申请号： | 202010529604.0 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111544946A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 易德福 | 申请（专利权）人： | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/00 | 分类号： | B01D35/00;B01D35/14 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 344000 江西省抚*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了砷化镓抛光液自动循环过滤方法，其使得抛光药液通过自循环过滤，从而解决抛光过程中抛光液中的颗粒划伤晶片问题。抛光药液在抛光设备使用前，在供药管道进入设备后安装抛光药液自循环装置，将管道中结晶颗粒机静态滤芯反向端的结晶进行再次过滤，将静态的药液改变为动态实时过滤，避免析出颗粒结晶使得药液中颗粒增加。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓 抛光 自动 循环 过滤 方法 及其 对应 装置 | ||
【主权项】：
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