[发明专利]一种激光直写制备纳米微针模板的方法在审
申请号: | 202010529609.3 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN111660558A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 史强;胡海龙 | 申请(专利权)人: | 烟台魔技纳米科技有限公司 |
主分类号: | B29C64/135 | 分类号: | B29C64/135;B29C64/386;B29C64/379;B29C64/264;B29C64/314;B33Y50/00;B33Y40/20;B33Y40/10;B33Y70/10;B33Y30/00;B33Y80/00 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 钟文强 |
地址: | 山东省烟台市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供了一种激光直写制备纳米微针模板的方法,步骤如下:(1)建立纳米微针模板的三维模型,将所述三维模型导入三维光刻机;(2)将微针模板打印所需光刻胶滴加到成型基底上面;(3)采用激光直写技术,按照步骤(1)建立的三维模型,通过双光子聚焦激光将光刻胶固化在基板上,获得成型样品;(4)将成型样品进行显影、干燥后,进行二次曝光得到纳米级微针模板。通过本申请提供的方法,可打印任何形状的微针,获得的微针直径可以小于20μm,高度小于50μm,打破了传统方法和现有3D打印方法的打印极限,另外,该方法具有可控性高、打印精度高和打印效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 制备 纳米 模板 方法 | ||
【主权项】:
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