[发明专利]一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置及其对应的抽排方法在审
| 申请号： | 202010530488.4 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111515865A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 易德福 | 申请（专利权）人： | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06;B24B29/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 344000 江西省抚*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光设备空气颗粒尘埃抽排装置，其确保将空气颗粒尘埃抽排出抛光机时、对抛光盘的划伤率低，提高沉底晶片抛光良品率。其包括抛光设备底座，所述抛光设备底座上布置有定盘转盘，所述定盘转盘上放置有陶瓷盘晶片载体，所述抛光设备底座通过上凸的弧板连接上部安装架，所述上部安装架上设置有若干个下露的抛光转盘，所述抛光转盘用于陶瓷盘晶片载体上的晶片的抛光，所述弧板上开设有至少一个抽排风口，每个所述抽排风口通过抽风管外接抽风动力装置，封闭原有的垂直抽排口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 设备 空气 颗粒 尘埃 装置 及其 对应 方法 | ||
【主权项】：
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