[发明专利]一种Ca掺杂碲化锑超稳相变存储薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202010532613.5 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111876731B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 陈益敏;毛缘恩;王国祥;侯亚飞;沈祥 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/58;H01L35/16;H01L35/34 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 | 代理人： | 何仲 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种Ca掺杂碲化锑超稳相变存储薄膜材料及其制备方法，特点是该相变薄膜材料为钙、锑、碲三种元素组成的混合物，其化学结构式为Ca |
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| 搜索关键词： | 一种 ca 掺杂 碲化锑超稳 相变 存储 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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