[发明专利]一种小型真空性能测试装置及系统在审

专利信息
申请号: 202010534537.1 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN111502975A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 肖虹;林雪英;宋延魁;何俊斌 申请(专利权)人: 广州市真量纯科技有限公司
主分类号: F04B51/00 分类号: F04B51/00
代理公司: 广州独角熊知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44580 代理人: 张小黎
地址: 510670 广东省广州市高新技术产业开发区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种小型真空性能测试装置及系统,通过提供一种小型化、便携化的测试装置以及匹配的测试系统,实现对真空泵及真空工件的真空性能测量,有效的改善了现有技术中测量的不便性及繁琐性。
搜索关键词: 一种 小型 真空 性能 测试 装置 系统
【主权项】:
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