[发明专利]一种晶圆的检测设备有效
申请号: | 202010536049.4 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN111589795B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 陈鲁;李海卫 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B11/00;G01N21/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 宋天凯 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种清洁装置和检测设备,其中,该清洁装置包括吹扫组件和吸气组件,所述吹扫组件用于向所述样品的待处理区域喷吹吹扫气体,所述吸气组件用于对吹扫过所述待处理区域的所述吹扫气体提供吸力。在使用时,吹扫组件和吸气组件可以同时开始工作,吹扫组件的出气口可以吹出吹扫气体,以对样品的待处理区域进行吹扫;在气流的方向上,吸气组件位于待处理区域的下游侧,可以对吹扫后的气体提供吸力,以收集这部分气体,可较大程度地避免可能携带有微尘等异物的吹扫后的吹扫气体又污染样品的其他部位的情形。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司,未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010536049.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。