[发明专利]一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法在审
申请号: | 202010536203.8 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN111763914A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 李保强;陈金;曾路;刘文迪;黄志民 | 申请(专利权)人: | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F5/00 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;秦彦苏 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法,将混合粉体通过冷等静压成形,并进行高温真空脱气处理,再以吸氧性金属箔材隔离毛坯和石墨模具,经真空热压烧结得到钨硅靶材。该方法有助于钨硅靶材中易挥发非金属元素的脱除,有效地控制了钨硅靶材中的非金属元素含量,具有可操作性强、成本低的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 钨硅靶材 中非 金属元素 含量 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门虹鹭钨钼工业有限公司,未经厦门虹鹭钨钼工业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010536203.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种焊接螺旋管的钢带的长度及设定参数的确定方法
- 下一篇:电池模组及电池包
- 同类专利
- 专利分类