[发明专利]一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法在审

专利信息
申请号: 202010536203.8 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN111763914A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 李保强;陈金;曾路;刘文迪;黄志民 申请(专利权)人: 厦门虹鹭钨钼工业有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/15;B22F5/00
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;秦彦苏
地址: 361000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法,将混合粉体通过冷等静压成形,并进行高温真空脱气处理,再以吸氧性金属箔材隔离毛坯和石墨模具,经真空热压烧结得到钨硅靶材。该方法有助于钨硅靶材中易挥发非金属元素的脱除,有效地控制了钨硅靶材中的非金属元素含量,具有可操作性强、成本低的特点。
搜索关键词: 一种 控制 钨硅靶材 中非 金属元素 含量 方法
【主权项】:
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